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高臺(tái)結(jié)構(gòu)晶片的解決方案。
以往,在劃線工藝中很難解決的"高臺(tái)結(jié)構(gòu)晶片"。挑戰(zhàn)劃線工藝的案例分析。
需求
采用前的狀態(tài)、問(wèn)題
刻槽道又深又窄問(wèn)題。
解決方案
問(wèn)題的解決策略
TECDIA特制金剛石劃線刀。
要點(diǎn)
決定采用的理由
TECDIA是唯一一家設(shè)備和刀具都擁有的公司,故具有獨(dú)特的開(kāi)發(fā)能力。
結(jié)果
情況與效果
正在研究如何投入實(shí)用階段。
需求采用前的狀態(tài)、問(wèn)題

實(shí)現(xiàn)特殊晶片小型化解決方案的必選

當(dāng)今的市場(chǎng)不斷追求元件的高密度及高性能化,而半導(dǎo)體芯片化的劃線工程,也不一定都能在平坦的晶片上進(jìn)行,有時(shí)要求有深又窄的特殊刻槽工藝。因此不斷追求能對(duì)應(yīng)各種晶片的劃線方法,是個(gè)永無(wú)止盡的課題。

在特殊的狹窄且電極凸出型晶片上進(jìn)行劃線作業(yè)時(shí),如果劃線工具的刀刃太寬,可能會(huì)觸碰到兩側(cè),造成芯片的破損,引發(fā)這種問(wèn)題。因此勢(shì)必要找出能解決這個(gè)問(wèn)題的辦法。

  

解決方案問(wèn)題的解決策略

由制造生產(chǎn)金剛石劃線工具(刀具)與劃線設(shè)備的TECDIA的提案,有助于有槽半導(dǎo)體電路板的劃線創(chuàng)造條件。
金剛石劃線工具(刀具)在槽的內(nèi)壁設(shè)計(jì)了不會(huì)產(chǎn)生干擾的特殊2點(diǎn)工具,解決了與劃線上連接芯片的干擾問(wèn)題。
另外,在槽中心設(shè)置了可確保良好精度劃線的基本性能,實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化。

 

  

要點(diǎn)決定采用的理由

TECDIA能做到同時(shí)制造金剛石劃線工具(刀具)與劃線設(shè)備

同時(shí)擁有制造金剛石劃線工具(刀具)與劃線設(shè)備的解決方案,這是的驕傲。針對(duì)用什么樣的刀具、如何進(jìn)行劃線,TECDIA今后也會(huì)不斷創(chuàng)新方案。

結(jié)果情況與效果

擁有了劃線工具開(kāi)發(fā)能力也對(duì)解決高臺(tái)結(jié)構(gòu)晶片的芯片化問(wèn)題進(jìn)行了驗(yàn)證,現(xiàn)在正研究客戶引入的問(wèn)題。

客戶信息

 

【客戶行業(yè)】半導(dǎo)體電子元件

【業(yè)務(wù)內(nèi)容】半導(dǎo)體激光相關(guān)

 

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